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真空室漏气或漏水，真空室内有挥发的成分，没有充入氩气，充入空气或其他其他，可能引起中毒，这些成分与靶材反应，变成黑色覆盖靶材表面，影响成膜速度。 |
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真空室漏气或漏水，真空室内有挥发的成分，没有充入氩气，充入空气或其他其他，可能引起中毒，这些成分与靶材反应，变成黑色覆盖靶材表面，影响成膜速度。 |
